石英玻璃,是由各種純凈的天然石英(如水晶、石英砂等)熔化制成。線(xiàn)膨脹系數(shù)極小,是普通玻璃的1/10~1/20,有很好的抗熱震性。它的耐熱性很高,經(jīng)常使用溫度為1100℃~ 1200℃,短期使用溫度可達(dá)1400℃。石英玻璃主要用于實(shí)驗(yàn)室設(shè)備和特殊高純產(chǎn)品的提煉設(shè)備。由于它具有高的光譜透射,不會(huì)因輻射線(xiàn)損傷,因此也是用于宇宙飛船、風(fēng)洞窗和分光光度計(jì)光學(xué)系統(tǒng)的理想玻璃。
石英玻璃是用二氧化硅制造的一種非常優(yōu)良的基礎(chǔ)材料,具有一系列優(yōu)良的物理、化學(xué)性能,如:耐高溫、耐腐蝕、熱穩(wěn)定性好、透光性能好以及電絕緣性能好等。
因此,石英玻璃的運(yùn)用所觸及的技術(shù)領(lǐng)域也十分廣泛:
1、因?yàn)槭⒉AЬ哂袃?yōu)秀的耐高溫功能,因而被廣泛運(yùn)用于冶金、化工等工業(yè)需要耐高溫的設(shè)備中。
2、廣泛運(yùn)用于核工業(yè)和航空航天領(lǐng)域中,火箭、飛船的觀察窗及保溫外殼即是用石英玻璃制作。
3、因?yàn)槭⒉Aг诟邷叵碌幕瘜W(xué)穩(wěn)定性,被廣泛運(yùn)用于化工、制藥等工業(yè)中。
4、石英玻璃耐高溫且透光性能好,因而被廣泛運(yùn)用于國(guó)防軍工以及新式電光源等高科技領(lǐng)域。
5、石英玻璃具有很好的光譜特性,不只能夠透過(guò)可見(jiàn)光,并且能夠透過(guò)紅外線(xiàn)、紫外線(xiàn),因而被廣泛運(yùn)用于微電子、信息、激光及天文學(xué)中,光導(dǎo)纖維即是用石英玻璃制成。
6、還有就是石英玻璃的高純度、耐高溫、低的熱膨脹性等優(yōu)秀功能而被很多用于電子工業(yè)的出產(chǎn)中,如在對(duì)單晶硅片進(jìn)行摻雜、分散、氧化、退火等要害工序中運(yùn)用的石英玻璃分散管;硅片外延工序運(yùn)用的石英鐘罩;硅片酸洗和超聲波清潔工序運(yùn)用的花籃、支架等都是用石英玻璃制成。